UMC850三坐标仪故障修复

UMC850三坐标仪是德国ZEISS公司的高精度测量仪，使用环境20_＋3~C，设计分辨率0．21xm，测量范围X向850mm，Y向2340mm，Z向600mm。使用多年后，近期无法进行正常测量。仪器lJ：作时Z轴运行声音异常，测量探头精度下降，分辨率由平时微米级降至毫米级。