多晶硅生产中金属冷却器E0511abcd流程的技术改进

本文结合生产实际,介绍了闭环式三氯氢硅还原法的工艺流程和金属冷却器的作用,重点对亚洲硅业(青海)有限公司多晶硅生产中金属冷却器流程的改进、设备材料的选择及技改前后的经济核算进行了阐述。