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三振镜光扫描系统设计

The Design of an Optical Scanning System of Three Galvanometers
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摘要 根据几何光学原理,设计了一个高精度、多功能的三振镜光扫描系统。系统性能优于二振镜系统,定位精度±7μm。 We designed an optical scanning system consisted of three galvanometers on prin-ciple of the geometrical optics.The characteristics of the system are high accuracy and multifun-lion.The performance of the system is better than two galvanometer system,and the positionaccuracy is±7μm.
出处 《应用激光》 CSCD 北大核心 1990年第5期215-216,共2页 Applied Laser
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