316L钢+Al_2O_3金属陶瓷复合膜的制备与组织性能研究

用直流磁控溅射和射频磁控溅射共沉积在316L高速钢基体上制备了金属陶瓷复合薄膜。XRD检测表明,复合薄膜中主要以Fe-Cr相为主,并表现出较强的(110)和弱的(211)择优取向。SEM形貌分析显示,复合薄膜表面呈均匀颗粒状,断面形貌为明显的致密等轴晶结构,并具有良好的高温抗氧化性。硬度和耐磨性测试表明,复合薄膜的力学性能比316L块体的有明显改善。