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在线加工用高精度二维微小角度传感器的设计

Design of High Precision 2D Micro-angle Sensor for Online Machining
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摘要 提出了一种基于内反射效应的二维微小角度传感器的设计方法。该传感器采用光学差动法,通过检测光强实现了对二维方向上微小角度的测量。研制的角度传感器俯仰角和偏转角的测量范围为±500arcsec;具有优于0.1arcsec的分辨力。 The design plan of 2D micro-angle sensor based on the effect of int ernal reflection was presented.The sensor employs optical differential method a nd achieved measurement of micro angle in 2D directions by detecting light inten sity.The measurement range of yaw angle and pitching angle of angle sensor deve loped are ±500 arcsec.The sensitivity of this sensor is betterthan 0.1 arcsec.
出处 《航空精密制造技术》 2005年第5期25-27,37,共4页 Aviation Precision Manufacturing Technology
关键词 角度测量 二维 光强检测 angle measurement two dimensional light intensity
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