非光学量测试与设备

TB92 2003043058相位测量轮廓术中探测器非线性误差的分析=Analysis oferrors introduced by detector nonlinearity in phase measuringprofilometry[刊,中]/周利兵(四川大学光电系.四川,成都(610064)),苏显渝…∥激光杂志.-2002,23(3).-19-21在相位测量轮廓术(PMP)中,探测器的非线性响应是导致测量误差的重要因素,对该误差进行了理论分析和计算机模拟。比较了各种相移算法对这一误差的抑制能力,数值模拟与理论分析的结果一致,可为实际应用中合理地选择算法提供理论依据。图3表1参7(李瑞琴)