摘要
TN305.7 2003032335凹型Si微透镜阵列的制作=Fabrication of Si concave microlensarray[刊,中]/何苗(华中理工大学.湖北,武汉(430074)),易新建…∥红外与毫米波学报.—2002,21(1).—33-36提出了一种新的曲率倒易法,首次成功地在Si衬底上制作出64×256凹柱面折射微透镜阵列,扫描电子显微镜(SEM)显示微透镜阵列为表面轮廓清晰的凹柱面阵列,表面探针测试结果显示凹微透镜阵列表面光滑,单元重复性好,其平均凹深为2.643 μm,凹深非均匀性为8.45%,平均焦距为-47.08 μm。图6参7(方舟)
出处
《中国光学》
EI
CAS
2003年第3期97-97,共1页
Chinese Optics
