摘要
O484.5 2003021238硅(001)衬底上生长的ZnO薄膜的AFM研究=AFMstudy of ZnO thin films on Si(001)substrates[刊,中]/章建隽(浙江大学信息科学与电子工程系.浙江,杭州(310028)),杨爱龄//电子显微学报.—2002,21(1).—39-42对采用电子束反应蒸镀方法低温下在硅(001)衬底上外延生长的ZnO薄膜的表面构像进行了原子力显微镜(AFM)观察,分析研究了不同的衬底温度对薄膜表面形貌及结构特性的影响。
出处
《中国光学》
EI
CAS
2003年第2期59-60,共2页
Chinese Optics
