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薄膜光学理论与膜系设计

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摘要 O484.1 200004267 4软X射线宽带多层膜设计与实验=Soft X-raywide band multilayer films[刊,中]/王占山,马月英,曹健林,陈星旦(中科院长春光机所应用光学国家重点实验室.吉林,长春(130022)),柯常军,张铁强(吉林工业大学物理系.吉林,长春(130025))//科学通报.—1999,44(9).—930—937以周期膜理论为基础,改进了已有的设计方法,采用随机数的方法在18 nm~20 nm波段设计了积分反射率最大的宽带多层膜,理论上得到了高于周期膜系8%
出处 《中国光学》 EI CAS 2000年第4期66-69,共4页 Chinese Optics
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