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摘要 TN249 2000053258新型a-Si:H三脉冲准分子激光晶化法的研究=Researchon a novel triple pulse excimer lasercrystallization method of a—Si:H[刊,中]/吴春亚,张建军,耿新华,孙钟林(南开大学光电子薄膜器件与技术所.天津(300071))//电子学报.—1999。

出处《中国光学》 EI CAS 2000年第5期41-42,共2页 Chinese Optics

关键词等离子体发射光谱准分子激光飞行时间质谱仪晶化法电子束脉冲激光薄膜器件硅团簇脉冲强激光光电子枪

分类号 TN249 [电子电信—物理电子学]

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