非光学量测试与设备

TB92 2000053625非线性小数重合法及其在轮廓测量中的应用=Nonlinearexcess fraction method and its applicationsto profilometry[刊,中]/郝煜栋,赵洋,李达成(清华大学精密仪器系,精密测试技术及仪器国家重点实验室.北京(100084))//光学学报.—1999,19(11).—1518-1522叠相还原的困难是光栅投影式轮廓测量技术中影响可靠性和阻碍自动化测量的最大问题。