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光学薄膜参数测试

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摘要 O484.5 2000064036非晶GeO<sub>2</sub>-SiO<sub>2</sub>复合薄膜的制备及其红外吸收谱=Preparation and infrared spectra of GeO<sub>2</sub>-SiO<sub>2</sub>thin amorphous films[刊,中]/张祖新,张文炳(武汉大学物理系.湖北,武汉(430072)),李伟(山东师范大学物理系.山东,济南(250014))//武汉大学学报.自然科学版.—2000,46(1).—84-86采用锗-硅复合靶射频反应溅射技术。
出处 《中国光学》 EI CAS 2000年第6期47-47,共1页 Chinese Optics
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