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X射线荧光法测量金薄膜和镀层的厚度 被引量:1

Measurement of the Thickness of Gold Film and Coating by X-Ray Fluorimetry
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摘要 采用X射线荧光能谱仪,分别测量基底元素的强度,以求得金薄膜和镀层的厚度。用镀金片检验,当薄膜和镀层厚度t<3.0μm时,测量偏差<0.10μm,方法简便,可方便地用于镀层厚度的控制生产中。 Measure the strength of base element respectivly by X-ray fluorescent spectrometer to obtain the thickness of gold membrance and cating. To test by gold plate, the measuring deviation is<0.10m, when the thickness of gold membrance and coating is t<0. 3μm. The method is simple and convenient for the controlling production of the coating thickness.
作者 黄近丹
出处 《福建分析测试》 CAS 2000年第2期1231-1233,共3页 Fujian Analysis & Testing
关键词 X射线荧光法 薄膜和镀层 厚度 测定 X-ray Fluorimetry Membrance Coating Metering
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