计量光栅的光谱测试

介绍了计量光栅的测试与研究。这些光栅有刻划-腐蚀、照相-照相-镀铬、刻划-镀铬、照相-离子蚀刻。进行了光栅透射函数、±1级光强、m级光强的分布研究。