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H-600型电镜真空系统故障的检修

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摘要我所Ｈ－６００型电镜为日立公司生产的透射扫描电子显微镜．该电镜１９８２年购进，使用至今已１６年余．由于使用时间长，这两年其故障率较高．下面介绍一例照像室观察室真空系统特殊故障的检修．１故障现象开机，像室抽真空，其真空度除偶而有几次能达到要求外，大多数...

作者黄焕龙沛然曾子安成琳周卫国

机构地区成联军事医学研究所

出处《云南大学学报（自然科学版）》 CAS CSCD 1999年第S1期50-50,共1页 Journal of Yunnan University(Natural Sciences Edition)

关键词真空系统电磁阀橡皮密封圈电镜真空度油扩散泵电子显微镜密封性能真空脂断开状态

分类号 N55 [自然科学总论]

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云南大学学报（自然科学版）

1999年第S1期

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