真空阴极溅射镀膜产品的开发调试

随着产品要求的上档次.人们对产品的表面装饰要求也越来越高,真空镀膜产品正迎合了许多消费者的需求,我们的镀膜设备是采用带有磁控源的阴极溅射镀膜系统.其产品的最大特点是硬度高.耐磨性好,且膜层薄(一般在0.05—1.5μm范围内),所以对材料的节省是相当可观的,此外阴极溅射镀膜能获得高熔点,难熔金属的膜层,且能获得与靶材(特别是合金材料的靶材,如钛铝合金靶材,金镍靶合金靶材)材料同样组份的膜层.再者,由于它的整个工艺程序采用微机全自动控制.因而镀膜重复性很好.到目前为止.我所开发的镀膜产品,主要有500~#黑钛镀膜.300~#金镍合金膜,500~#氮化钛仿金膜,500~#氮化钛棕红膜,500~#碳铝合金膜.下面我想介绍一下阴极溅射镀膜的基本原理,产品真空镀膜所必备的基本条件,着重介绍真空镀膜的工艺程序,镀膜产品颜色的调试开发.及阴极溅射镀膜产品出现的常见质量问题及其控制方法.