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两项计量标准中有关检定误差的分析与探讨

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摘要通过对JJG101-86《接触式干涉仪检定规程》和JJG53-86《0.2μm立式光学计检定规程》规定的接触式干涉仪和0.2μm立式光学计的示值检定误差分析及其两种仪器的精度构成,探讨了用3等量块代替2等量块对这两种仪器进行示值检定。

作者马仕才

机构地区 [

出处《航天标准化》 1997年第4期8-10,共3页 Aerospace Standardization

关键词接触式干涉仪 0.2μm立式光学计示值误差分析

分类号 TH707 [机械工程—精密仪器及机械]

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航天标准化

1997年第4期

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