真空低温环境下的光学精密机械传动与控制测试

在深冷与超高真空环境下,光学精密机械传动与测控的设计是无法按常规方法进行的。特别是运动付的润滑形式、材料的选择,测试传感器的选用等都是需要解决的关键技术问题。本文给出了结构设计与测控方法,并在实践中进行了应用。