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国家光电子工艺中心的纳米技术研究

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摘要国家光电子工艺中心的纳米技术研究葛璜，胡雄伟，王圩（国家光电子工艺中心，中国科学院半导体研究所）０引言下一代光电子器件是量子效应光电子器件，这就需要控制良好的纳米加工技术。国家光电子工艺中心（ＮＣＯＴ）以研究下一代量子效应光电子器件为主要目标，开展了...

作者葛璜胡雄伟王圩

机构地区国家光电子工艺中心

出处《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1996年第S1期81-82,87,共3页 Chinese Journal of Scientific Instrument

关键词纳米技术电子工艺光电子器件超晶格材料集成技术量子阱量子线技术研究分布反馈激光器分子束外延

分类号 TN201 [电子电信—物理电子学]

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仪器仪表学报

1996年第S1期

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