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高功率脉冲电子束制备纳米硅薄膜及其发光特性研究

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摘要高功率脉冲电子束制备纳米硅薄膜及其发光特性研究江兴流，何宇亮，陈思富，李国华（北京航空航天大学应用数理系）（兰州大学现代物理系）（中科院半导体研究所）多极板赝火花（Ｐｓｅｕｄ。Ｓｐａｒｋ）放电室所产生的高功率脉冲电子束和离子束能对金属、半导体、高聚物...

作者江兴流何宇亮陈思富李国华

机构地区北京航空航天大学应用数理系

出处《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1996年第S1期248-248,共1页 Chinese Journal of Scientific Instrument

基金国家自然科学基金

关键词脉冲电子束发光特性硅薄膜高功率纳米材料光致发光赝火花国家自然科学基金纳米硅北京航空航天大学

分类号 TB383 [一般工业技术—材料科学与工程]

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仪器仪表学报

1996年第S1期

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