STM针尖刻蚀的多电子束现象

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摘要ＳＴＭ针尖刻蚀的多电子束现象田如江，韩阶平（中国科学院微电子中心）自从ＳＴＭ问世以来，已有大量报导是利用ＳＴＭ针尖所产生的低能量、空间发散相当小的电子束进行纳米加工。ＳＴＭ纳米加工具有加工尺寸小、设备简单等优点。但是对于ＳＴＭ纳米加工机理的认识还没有...

作者田如江韩阶平

机构地区中国科学院微电子中心

出处《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1996年第S1期249-249,共1页 Chinese Journal of Scientific Instrument

关键词多电子电子束纳米加工脉冲电压中国科学院形成机理加工机理尺寸的控制隧道状态隧道偏压

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仪器仪表学报

1996年第S1期

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