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智能化的微细台阶测量系统

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摘要智能化的微细台阶测量系统王云庆，李庆祥，薛实福，周兆英（清华大学）０引言在半导体生产工艺中，对各种微细台阶进行在线检测是保证产品质量、提高生产效率的重要手段。机械触针式台阶测量仪是台阶测量的重要仪器。本文介绍了清华大学精密仪器与机械学系研制的高精度、...

作者王云庆李庆祥薛实福周兆英

机构地区清华大学

出处《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1996年第S1期389-390,共2页 Chinese Journal of Scientific Instrument

关键词微细台阶智能化测量系统测量原理台阶测量仪工作台测量精度测量软件半导体生产工艺触针

分类号 TP212.6 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]

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仪器仪表学报

1996年第S1期

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