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超精密车床的闭环控制系统被引量：1

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摘要超精密车床的闭环控制系统汪建新，董申，刘晋春，李国伟（哈尔滨工业大学特种加工研究室）本机床主要用于车削圆柱面、端面、沟槽和圆锥面。要求机床分辨率为０．０１μｍ。机床的运动是通过精密伺服电机、精密丝杠和十六位工业控制机来控制的，使用双路双频激光干涉仪实...

作者汪建新董申刘晋春李国伟

机构地区哈尔滨工业大学特种加工研究室

出处《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1996年第S1期434-434,共1页 Chinese Journal of Scientific Instrument

关键词超精密车床闭环控制系统微动刀架干涉仪伺服电机工控机工业控制机双频激光电容测微仪分辨率

分类号 TG51 [金属学及工艺—金属切削加工及机床]

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仪器仪表学报

1996年第S1期

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