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对SAW谐振器气体传感器的表面质量负载与传感器性能之间关系的研究 被引量：2

THE RESEARCH IN THE RELATIONSHIPS BETWEEN THE MASS LOADING EFFECTS AND THE PERFORMANCE OF SENSOR BASED UPON SAW RESONATOR
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摘要 首先研究双端声表面波谐振器的一些特点,然后从SAW技术与有机膜技术结合的角度,分析了采用谐振器(SAWR)对有机气体检测时,膜层引起的质量负载的大小对传感器性能的影响,目的是以更深层的着眼点进一步分析SAWR的使用。 After the properties of the two port SAW resonator has been studied from the point of view of the combination of SAW technology and the organic film technology ,the paper analysed the mass loading effects on the performance of transducer .Its aim is at the analysis how to make SAW technology more suitable for the gas sensor.
作者 戴恩光 冯冠平
机构地区 清华大学精密仪器与机械学系
出处 《测试技术学报》 1996年第2期349-353,共5页 Journal of Test and Measurement Technology
关键词 SAW谐振器 质量负载效应 敏感膜 SAW resonatonmass loading sffectsensitive film
分类号 TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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引证文献2

二级引证文献18

测试技术学报
1996年 第2期

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