摘要
O472 96032017ZnO/SnO<sub>2</sub>双层膜的结构及敏感特性研究=A studyon structure and gas-sensitive character ofZnO/SnO<sub>2</sub> bilayer film[刊,中]/娄向东（河南师范大学化学系.河南,新乡（453002））,沈荷生,沈瑜生（中国科技大学材料科学与工程系.安徽,合肥（230026））//传感技术学报.-1995,（2）.-20-23将SnO<sub>2</sub>及ZnO粉末压制成靶材,采用溅射法制备了ZnO/SnO<sub>2</sub>双层薄膜,用XPS,XRD、SEM等手段对制得的薄膜进行分析测试,发现双层膜表面有一定量的吸附氧存在,双层膜中锌、锡有一定的相互扩散,比较了单层SnO<sub>2</sub>及ZnO膜与双层膜的气敏特性。
出处
《中国光学》
EI
CAS
1996年第3期88-90,共3页
Chinese Optics
