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镀膜技术及设备
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摘要
O484.1 96042591SiO<sub>2</sub>薄膜的制备方法与性质=The influence ofoxygen partial pressure on the properties ofSiO<sub>2</sub> thin films[刊,中]/陈立春,姚健铨(天津大学精密仪器系.天津(300072)),王向军,徐叙瑢(天津理工学院材料物理研究所.
出处
《中国光学》
EI
CAS
1996年第4期71-72,共2页
Chinese Optics
关键词
二维气敏光学薄膜
发光学
制备方法
制备工艺
精密仪器
物理研究所
镀膜技术
溶胶凝胶法
理工学院
天津大学
分类号
O484.1 [理学—固体物理]
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