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摘要 TB9 96042697纳米计量技术=Nanometrology technology[刊,中]/尤政,梁晋文(清华大学精密仪器与机械学系.北京(100084))∥计量技术.—1995.(11).—2—4简述了纳米科学与技术的历史和最新进展。介绍了纳米测量技术如扫描隧道显微技术。

出处《中国光学》 EI CAS 1996年第4期85-85,共1页 Chinese Optics

关键词计量技术扫描隧道显微技术纳米定位纳米科学精密仪器外差干涉机械学最新进展测量技术清华大学

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中国光学

1996年第4期

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