超微细加工及设备

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摘要 TM305.7 96042760长光栅动态刻划机稳定性可靠性的研究与分析=Study and analysis on the stable reliability oflong grating dynamic ruling engine[刊,中]/孔曜(中国航空精密机械研究所)∥航空精密制造技术.—1996,32(1).

出处《中国光学》 EI CAS 1996年第4期95-95,共1页 Chinese Optics

关键词动态刻划研究与分析长光栅精密制造技术动态目标发生器超微细加工光刻工艺可靠性精密机械稳定性

分类号 TN205 [电子电信—物理电子学]

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