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眼镜、放大镜、显微镜及显微术
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摘要
TH742.5 96042765相移干涉显微镜中移相误差分析=Analysis ofphase-shifting error in phase-shifting in- terferometric microscope[刊,中]/丁志华,王桂华,王之江(中科院上海光机所.上海(201800))∥计量学报.—1995,16(4).
出处
《中国光学》
EI
CAS
1996年第4期95-95,共1页
Chinese Optics
关键词
相移干涉显微镜
误差分析
计量学
检测精度
显微术
移相术
中科院
移相误差
放大镜
上海
分类号
TH742 [机械工程—光学工程]
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中国光学
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