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真空镀膜基板温度的测试新法──激光干涉测定基板温度

A NEW METHOD FOR MEASURING THE TEMPERATURE OF VACUUM COATED PLATE - Measuring the Temperature of the Plate by Laser interference
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摘要 文章介绍了激光干涉测温原理.测试装置及测试结果与普通方法的比较.从而说明此法的优点。 The paper introduces the principle of measuring the temperature by laser interference and thecomparison of testing plant and results with general method, so that the advantage of this method can beseen.
机构地区 吉林化工学院
出处 《大学物理实验》 1995年第2期11-12,共2页 Physical Experiment of College
关键词 激光 真空镀膜 基板温度 laser vaccum coating plate temperature
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