摘要
微型机械和微机器人的发展状况蔡鹤皋，孙立宁，安辉，张涛（哈尔滨工业大学）０引言近年来，国外在微型机构的开发和研究方面出现一个新兴的势头，即微机械电子学，利用ＩＣ的微细加工技术，将机构、传感器、控制器等集成在一个多晶硅片上，不仅将传统的无源机构变为有源...
出处
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1995年第S1期38-41,共4页
Chinese Journal of Scientific Instrument
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