微型集成化色谱仪的研究

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摘要微型集成化色谱仪的研究关亚风，李灵娥，陈殿生（中国科学院大连化学物理研究所分析室）将硅片微制造技术与色谱原理相结合，用全新的概念和设计思维，来设计、制造色谱仪的进样器、色谱柱、检测器和整机由于这些部件的尺寸如此之小，在理论研究和部件的设计上，分子的平...

作者关亚风李灵娥陈殿生

机构地区中国科学院大连化学物理研究所分析室

出处《云南大学学报（自然科学版）》 CAS CSCD 1994年第S2期67-67,共1页 Journal of Yunnan University(Natural Sciences Edition)

关键词进样器微制造分析室理论研究半导体工业微加工连接管路平均自由程最低检出浓度加工过程

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云南大学学报（自然科学版）

1994年第S2期

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