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平面薄膜型气敏传感器

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摘要平面薄膜型气敏传感器刘文利，李建明，吕红浪，裘南畹（山东工业大学济南２５００１４）关键词薄膜；氧化锡；酒敏元件中图分类号ＴＰ２１２．２１介绍用粉末浅射研制的ＳｎＯ２／ＧｅＯ２酒敏薄膜的性能与膜厚、掺杂量、温度等的关系．发现其最佳厚度在１０－１～２×１...

作者刘文利李建明吕红浪裘南畹

机构地区山东工业大学

出处《郑州轻工业学院学报（自然科学版）》 CAS 1994年第S1期218-218,共1页 Journal of Zhengzhou University of Light Industry:Natural Science

关键词薄膜氧化锡酒敏元件

分类号 TP212.1 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]

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郑州轻工业学院学报（自然科学版）

1994年第S1期

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