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激光辐照NTD—Si形成P—N结的研究

The P-N Junction Formation of NTD Silicon by Laser and Investigation of There Properties
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摘要 本文扼要阐述了用CO_2辖续激光辐照NTD—St生成P—N结的具体过程与条件并根据实际数据对其生成机理作了合理分析。 In This paper,we present a new method to make The P--N Junetion in NTD silicon and inverstigation the electrical properties,such as,conductance tyne,sheet vesistance,Voctage--current characteristic. in order to illustrate above result we persent a model.
出处 《山西师范大学学报(自然科学版)》 1993年第1期25-27,共3页 Journal of Shanxi Normal University(Natural Science Edition)
关键词 激光中了媗变掺杂 电子一空穴结 辐照 掺杂 Laser a P—n junction radiate dope
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