用连续沉积MOCVD技术制备5英寸的ZnS:MnTFEL屏

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摘要引言由于薄膜电致发光(TFEL)显示器具有高亮度和高效率,所以它作为一种平板显示器而受到人们的关注。然而,目前巳实现商品化的仅有黄色发光ZnS:Mn器件。ZnS∶Mn荧光粉薄膜和绝缘层是用物理汽相沉积(PVD)

作者邸建华

出处《液晶与显示》 CAS CSCD 1991年第5期33-35,共3页 Chinese Journal of Liquid Crystals and Displays

关键词 MOCVD ZnS:MnTFEL 平板显示器薄膜电致发光汽相连续沉积衬底温度绝缘膜沉积技术绝缘薄膜

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液晶与显示

1991年第5期

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