溅射制备的SrS:Ce蓝——绿发光TFEL器件

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摘要用射频溅射技术制备出 SrS∶Ce 荧光粉薄膜,并用这种溅射薄膜制备了蓝—绿发光TFEL 器件,经研究发现这种器件的亮度和效率与薄膜生长过程中的气体压力、溅射靶的杂质含量、衬底温度和有源层厚度有函数关系,实验结果证明用溅射技术取代常规的电子束蒸发技术可以在【

作者邸建华

出处《液晶与显示》 CAS CSCD 1991年第2期32-36,共5页 Chinese Journal of Liquid Crystals and Displays

关键词溅射制备 SrS:Ce TFEL 衬底温度溅射法薄膜生长电子束蒸发射频溅射薄膜制备薄膜层

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液晶与显示

1991年第2期

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