卤素输运CVD法形成的ZnS:Mn薄膜EL显示技术

前言薄膜EL显示器件的显示质量高、性能可靠,在平板显示应用中正引人注目。目前ZnS:Mn橙黄色显示业已付诸实际应用。ZnS:Mn发光层的制作技术有三种:(1)电子束蒸发法(含溅射法)。把ZnS与Mn制成混合块,通过电子束使其加热蒸发,以物理沉积的方式蒸发到基板上。(2)原子层外延法(ALE)。把原料气体交互地向基板上供给,通过生长表面上的化学反应一层一层地形成原子层。尽管这种ALE法的成膜速度慢,在生产上有问题,但可形成高质量的ZnS薄膜。