一种中磁场层状阳极溅射离子泵被引量：1

A SPUTTER-ION PUMP WITH PARALLEL-PLATE ANODE FOR USE IN THE MIDDLE MAGNETIC FIELD

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摘要一、引言自从1954年Gurewitsch和Westendorp发表“Ionic pump”以来。距离现在已有三十多年。在此期间,溅射离子泵取得了很大的进展,它已成为获得清洁超高真空的主要抽气设备,广泛地应用于几乎所有的真空领域。改进溅射离子泵的阳极结构,是提高其抽气性能的重要途径。

作者刘宝湘杨萍沈志唯丛力人

机构地区中国科学院科学仪器厂

出处《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 1990年第1期38-40,共3页 Chinese Journal of Vacuum Science and Technology

关键词溅射离子泵抽气设备阳极电压科学仪器厂 IONIC 抽气速率南京工学院网格式孔板比例系数

同被引文献14

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真空科学与技术学报

1990年第1期

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