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西德专家作学术报告
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摘要
上海市真空学会1990年5月9日邀请联邦德国LEYBOLD真空公司薄膜部主任Dr.Siegmund先生作了《真空镀膜设备和薄膜技术应用》的学术报告。
作者
韩建华
机构地区
上海市真空学会
出处
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
1990年第4期260-260,共1页
Chinese Journal of Vacuum Science and Technology
关键词
作学术报告
真空镀膜
薄膜技术
研究设备
分类号
TB7-55 [一般工业技术—真空技术]
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真空科学与技术学报
1990年 第4期
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