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西德专家作学术报告

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摘要上海市真空学会1990年5月9日邀请联邦德国LEYBOLD真空公司薄膜部主任Dr.Siegmund先生作了《真空镀膜设备和薄膜技术应用》的学术报告。

作者韩建华

机构地区上海市真空学会

出处《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 1990年第4期260-260,共1页 Chinese Journal of Vacuum Science and Technology

关键词作学术报告真空镀膜薄膜技术研究设备

分类号 TB7-55 [一般工业技术—真空技术]

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真空科学与技术学报

1990年第4期

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