真空镀铝中溅射问题的分析及处理

THE ANALYSIS AND TREATMENT OF THE SPUTTERING PROBLEM IN ALUMINUM DEPOSITION

真空镀铝膜时,经常会发生铝液溅射现象(又称溅火或打火),使被镀物因铝液的喷溅而出现孔洞,造成废、次品(尤其是塑料薄膜)。所谓溅射现象,即在蒸发源工作时,在产生铝金属蒸汽时。