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浅析硅单晶线锯开方的工艺控制

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摘要 线锯开方是一种新型的硅棒剖方加工技术,具有加工效率高、精度高、硅料损耗小和方便后续加工等特点。本文通过提高进给速度、减少新线进给量等工艺条件达到减少加工时间和降低切割钢线的消耗量。
作者 贾曦 乐栋贤
出处 《中国新技术新产品》 2011年第24期140-140,共1页 New Technology & New Products of China
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参考文献4

二级参考文献26

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