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SiC反射镜表面改性研究进展 被引量:5

Research Development of Surface Modification of SiC Mirror
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摘要 采用SiC陶瓷作反射镜是目前国际上的一个研究热点。但是SiC陶瓷用作反射镜时存在各种类型的缺点,必须对SiC反射镜表面进行改性。本文综述了各种表面改性方法、制备机理以及优缺点,最后展望了未来SiC反射镜的发展方向:即低成本化和大型化。 It is a hotspot using SiC ceramic as mirror at present. When SiC ceramic is used as mirror, there exist various defects. Surface modification must be done on the SiC mirror. The methods of surface modifica-tion, the mechanism of preparation, the disadvantages and advantages are summed up in the paper. Two as-pects of cost-effectively and large-scaled are finally prospected in developing SiC mirror.
出处 《江苏陶瓷》 CAS 2011年第6期8-12,共5页 Jiangsu Ceramics
关键词 SiC反射镜 表面改性 CVD SIC涂层 PVD Si涂层 SiCmirror surface modification CVD SiC coating PVD Si coating
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