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Edwards新型iXH500H干泵系列显著降低拥有成本

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摘要 真空和尾气处理设备及服务供应商Edwards公司扩展其广受欢迎的应用于严苛工艺的iXH产品系列,最新推出iXH500H系列干泵。新的500m3/h干泵系列针对需要较高气体流量和灵活泵温范围的平板显示器、太阳能和先进半导体工艺而优化。
出处 《电子世界》 2012年第1期5-5,共1页 Electronics World

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