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Edwards新型iXH500H干泵系列显著降低拥有成本
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摘要
真空和尾气处理设备及服务供应商Edwards公司扩展其广受欢迎的应用于严苛工艺的iXH产品系列,最新推出iXH500H系列干泵。新的500m3/h干泵系列针对需要较高气体流量和灵活泵温范围的平板显示器、太阳能和先进半导体工艺而优化。
出处
《电子世界》
2012年第1期5-5,共1页
Electronics World
关键词
干泵
半导体工艺
成本
尾气处理设备
服务供应商
平板显示器
气体流量
间隔时间
分类号
TN305 [电子电信—物理电子学]
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1
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3
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4
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5
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7
KirelTang,WANGYing-pei,MikeCzerniak.
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.电子工业专用设备,2004,33(4):15-17.
8
Neil Lavender-Jones.
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.集成电路应用,2007,24(3):76-76.
9
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.中国集成电路,2013,22(7):16-16.
10
Edwards在SEMICONChina2012展会上展示先进真空技术[J]
.电子世界,2012(7):7-7.
电子世界
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