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100级超净车间空调噪声的综合治理

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摘要 一、概况 上海贝岭微电子有限公司100级超净车间面积为218m^2,相邻空调机房面积为150m^2,净高为5.7m,机房内安装三台日本新晃AC-100型空调机组[每台风量80000m^3/h、全压58mmH_2O、转速950r/min、声功率级97.5dB(A)],机房与超净车间一墙之隔,而下部回风口全部直接连通。
机构地区 上海声学学全
出处 《噪声与振动控制》 CSCD 1990年第3期10-13,共4页 Noise and Vibration Control
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