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用空间拟合函数实现线间距离的检测
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摘要
介绍用线阵CCD 作刻线边缘的传感器,以光栅作为计量基准,用空间拟合函数作为计算方法。
作者
谢小平
机构地区
中国科学院光电技术研究所
出处
《计量与测试技术》
2000年第1期8-9,共2页
Metrology & Measurement Technique
关键词
刻线线宽
距离检测
长度计量
空间拟合函数
分类号
TP216 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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