压力传感器向着本土化发展

目前，国外厂商生产的传送器中使用的MEMS压力变感器主要有压阻式和电容式两种结构，以压阻式结构居多。西门子公司DSm系列压力变送器就是采用压阻式结构的压力传感器。美国罗斯蒙特公司3051系列压力变送器的传感器芯片也是压阻式结构。压阻式传感器应用非常广泛。国内很多厂商依靠进口压阻式传感器，设计制造国产变送器。压阻式传感器技术成熟，很适合国产化研制。但是，压阻式传感器容易受温度、湿度等环境因素影响，而且，静压特性依赖工艺水平，无法得到保证。这两大难点限制了国产压阻式传感器的测量精度和稳定性。