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国家科技重大专项极大规模集成电路制造装备及成套工艺专项2011年度工作总结暨部署大会

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摘要 2011年12月22日,极大规模集成电路制造装备及成套工艺重大专项（以下简称＂集成电路装备专项＂）工作总结暨部署大会在上海召开。专项领导小组组长、科技部副部长曹健林,专项第一行政责任人、上海市副市长沈晓明,

出处《电子工业专用设备》 2011年第12期55-55,共1页 Equipment for Electronic Products Manufacturing

关键词大规模集成电路制造装备成套工艺科技部部署大专上海市副部长

分类号 TN47 [电子电信—微电子学与固体电子学]

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电子工业专用设备

2011年第12期

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