真空微电子技术

近年来,利用半导体技术,制造集成化的微米尺寸的微型真空管(亦称为真空IC)的愿望越来越强烈,与此趋势相呼应,1988年6月,在美国召开了第一届真空微电子学国际会议。本文即是以此次会议报告的内容为中心,介绍了真空微电子学的发展动向。