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微波等离子体沉积金刚石薄膜
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摘要
结合自己的研究工作,介绍了微波等离子体沉积金刚石薄膜的优点及其应用;还介绍了美、英、苏等国利用微波等离子体沉积金刚石薄膜的最新动向。
作者
李泱
李天仁
许振通
机构地区
国光电子管总厂微波所
出处
《真空电子技术》
北大核心
1990年第3期12-14,共3页
Vacuum Electronics
关键词
金刚石薄膜
微波
等离子体
沉积
分类号
TN304.18 [电子电信—物理电子学]
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0
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0
1
Jubb.,MG,巴兵.
用于微波等离子体沉积金刚石薄膜的UHV反应器的设计[J]
.国外核聚变与等离子体应用,1996(1):58-68.
2
贺德衍,Shimi.,I.
用微波等离子体化学气相沉积法低温生长织构多晶硅薄膜[J]
.Journal of Semiconductors,1998,19(9):661-666.
被引量:3
真空电子技术
1990年 第3期
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