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用表面分析技术对显像管电极清洗工艺的研究

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摘要 两种不同工艺清洗的显像管电子枪电极用 XPS、SEM 和 AES 进行了分析研究,发现用国内工艺清洗的电极表面大多程度不同的存在污染斑痕。污染物的主要成份是 Na、Cl、S、CaO、MgO 和 Al_2O_3,很可能是未彻底清洗掉的研磨剂残留物。分析表明,表面分析技术在显像管研制与生产中有可能发挥重要作用。
机构地区 机电部
出处 《真空电子技术》 北大核心 1990年第3期21-25,共5页 Vacuum Electronics
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